Mesure de micro et nanoforces

L'équipe SPECIMeN étudie et développe des plateformes de mesure de micro et nanoforces basse fréquence à partir de transducteurs « force-déplacement » qui utilisent des ressorts magnétiques passifs de très faible raideur (jusqu’à 0,005 N/m) couplés à des masses macroscopiques (corps d'épreuve rigides) de quelques milligrammes à quelques grammes. Ceci constitue une rupture méthodologique par rapport aux capteurs MEMS traditionnels dont les corps d'épreuve sont des microstructures élastiques.

L'équipe SPECIMeN développe également des plateformes pour la nanotribologie (dans le contexte de la micromanipulation dextre) utilisant des capteurs de force MEMS piézorésistifs et multi-DDL. Des contributions sont notamment en cours sur le développement et l’optimisation d’architectures MEMS planaires multi-DDL afin de minimiser les couplages mécaniques ainsi que le nombre de jauges en silicium à implanter.