Equipe MICRO

L’équipe MICRO (Microtechniques Intelligentes) a pour vocation de développer des activités scientifiques et technologiques recherches autour de la thématique des microtechniques. Elle intègre des compétences et activités autour de l’imbrication des technologies de microfabrication (Technologies MEMS et de la micromécanique).

Les objectifs de cette équipe sont de proposer des approches permettant l’hybridation de ces technologies par utilisation d’approches liant modélisation, simulation et expérimentation. Ceci mène à la conception, la simulation et la réalisation de microsystèmes couplant différentes technologies différentes à des échelles différentes (proches du micromètres).

L’équipe MICRO initie aujourd’hui des activités scientifiques sur le couplage des technologies de microfabrication type MEMS et micromécanique. Elle s’appuie pour cela sur les équipements des plateformes technologiques MIMENTO (Salle blanche) et MIFHySTO (Microfabrication pour la mIniaturisation, la Fonctionnalisation et l’Hybridation des Systèmes microTechniques et l’Outillage). La complémentarité de ces équipements, en fait une valeur ajoutée unique au niveau national. Les verrous scientifiques à lever sont liés à une capacité à lier deux technologies dont les échelles sont complémentaires autour du micromètre (transmission de puissance entre MEMS et micromécanismes, packaging). Les méthodes numériques nécessaires sont aujourd’hui en développement.