Equipe MICRO
L’équipe MICRO (Microtechniques Intelligentes) développe des activités de recherche scientifique et technologique dans le domaine des microtechniques. Ses travaux portent principalement sur l’intégration et l’hybridation des technologies de microfabrication, notamment les technologies MEMS et la micromécanique.
L’équipe s’attache à concevoir des approches innovantes associant modélisation, simulation et expérimentation afin de favoriser le couplage de technologies complémentaires. Ces recherches conduisent au développement de microsystèmes intégrant différentes technologies et opérant à des échelles micrométriques.
Les activités scientifiques de l’équipe s’appuient sur les plateformes technologiques MIMENTO (salle blanche) et MIFHySTO (Microfabrication pour la mIniaturisation, la Fonctionnalisation et l’Hybridation des Systèmes microTechniques et l’Outillage). La complémentarité de ces infrastructures constitue un atout majeur et une spécificité reconnue au niveau national. Les travaux menés visent notamment à lever les verrous scientifiques liés au couplage de technologies aux échelles complémentaires, tels que la transmission de puissance entre MEMS et micromécanismes ou encore les problématiques de packaging. Dans ce contexte, le développement de méthodes numériques avancées occupe une place centrale.
L’équipe MICRO possède également une expertise reconnue dans les procédés de microfabrication mécanique. Ces procédés peuvent être issus de la miniaturisation de techniques conventionnelles (fraisage, électro-érosion, microformage) ou spécifiques au domaine des microtechniques (décolletage, µEDM). Les recherches portent en particulier sur l’hybridation de ces procédés pour la fabrication de composants fortement miniaturisés, présentant des géométries de l’ordre de quelques dizaines de micromètres, dans des matériaux difficiles à usiner tels que les carbures, les céramiques, le tungstène, les matériaux réfractaires ou conformes aux réglementations REACH. L’équipe explore également les procédés émergents, notamment l’hybridation entre fabrication additive métallique et microusinage.
La réalisation de microsystèmes nécessite également le développement de techniques de métrologie et de caractérisation adaptées à ces composants miniaturisés. Dans ce cadre, l’équipe MICRO dispose de moyens de pointe dédiés à la caractérisation des microsystèmes, aussi bien en surface grâce à des techniques de métrologie optique, qu’en volume à l’aide de moyens de nano- et microtomographie X.
L'équipe déploie progressivement sur ses projets de recherche une analyse d'impacts environnementaux notamment par le biais d'analyses de cycle de vie attributionnelle (ACV-A avec le logiciel OpenLCA) et plus récemment, l'adaptation de la méthode empreinte projet de l'ADEME, dont la méthodologie est basée sur l'analyse de cycle de vie conséquentielle (ACV-C).
Enfin, les travaux de l’équipe intègrent une forte dimension liée à l’instrumentation, au pilotage et à la surveillance de l'intégrité des structures (Structural Health Monitoring - SHM). En s'appuyant sur des méthodes de contrôle non destructif (NDT), et plus particulièrement sur la technique de l’émission acoustique combinée à des mesures caractéristiques multi-capteurs (efforts, courant, tension, accélérométrie), l’équipe déploie des compétences avancées en traitement de signal et en monitoring. Cet axe de recherche fait largement appel à l'intelligence artificielle (IA) à travers des algorithmes d'apprentissage supervisé et non supervisé pour la détection, la classification de défauts et le diagnostic en temps réel. La gestion des incertitudes est également un pan important des activités scientifiques pour garantir la robustesse des modèles prédictifs dans les stratégies de rétroaction pour le contrôle des opérations de microfabrication et le suivi de santé des structures.